臭氧供應系統、射頻電源

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日揚子公司明遠精密以電漿、鍍膜及電子技術為核心,成立初期以遠端電漿系統、射頻電源、微波系統的維修及零件銷售為主,累積紮實的專業技術與豐富經驗,近年研發出多項半導體設備電源主、副系統有成,深具發展潛力。

此次 SEMICON 明遠展出的重點以兩大系統為主軸,臭氧供應系統是近年發展的主力產品,明遠做為國際半導體最大設備廠「唯一維修策略夥伴商」,更開發出用於 LED 產業 ALD 製程的臭氧產生器 AOS-6800,通過 SEMI S2 認證,內建全新電控系統暨 RS485 通訊介面,包含流量及壓力控制器與濃度偵測器全數自主研發生產。明遠在臭氧供應系統關鍵零組件研發的掌握趨近完備,下一階段將與全球半導體最大設備商朝純半導體前段製程的新品方向協作開發。

圖為明遠精密自主研發之高效節能射頻電源系統 ACME。圖/明遠精密提供

射頻電源系統是明遠另一發展重點,除了累積多年維修的量能,明遠早於三年前推出自有品牌 ACME,深受國內眾多半導體大廠肯定,也已打入日本市場,預計明年搶進中國市場。ACME 具備的節能特色正符合產業 ESG 大趨勢,加上8吋晶圓廠舊有電源系統的汰換商機無限,該產品節能、高效、低維修率的優勢將為明年的營運成長注入更多活水。而未來針對12吋晶圓廠,明遠也積極評估與夥伴設備商合作開發射電新品的可能性。

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明遠精密盧俊宏總經理表示,明年對於既有成熟的維修服務市場可望提高市場占有率,也希望將自有品牌產品拓展到更多市場。此外,日揚集團啓動美國拓點計畫將有機會帶動明遠現有產品深入美國市場,而明遠擁有的關鍵技術在集團第三類半導體射電類系統的開發上,也將扮演重要角色。

明遠精密於此次 SEMICON 半導體大展,展出四大主題:臭氧供應系統、射頻電源系統、機械手臂及 RPS 遠端電漿源系統。圖/李其芳

此次明遠亦展出機械手臂及 RPS 遠端電漿源系統,RPS 新品已通過經濟部 A+ 專案功能驗證,1-2 年後將實現商品化。據了解,明遠計畫明年啓動公開發行,有望於 2023 年底前上櫃,該公司將進入快速成長期。

來源鏈接:工商時報 https://ctee.com.tw/industrynews/technology/572443.html

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