無塵室的應用與型式

無塵室耗材
無塵室的應用
• 電子工業:電腦、電視影像管、平
面螢幕等
• 半導體工業:積體電路生產
• 微機械:陀螺儀、微軸承、光碟機
• 光學工業:透鏡、感光底片、雷射
儀器
• 生物科技:抗生素生產、基因工程
• 製藥:無菌藥物、無菌處理
• 醫療器材:心瓣膜、心導管旁通系

• 食品:發酵製程、無防腐劑食品
無塵室的型式
• 紊流通風式(turbulently
ventilated)或傳統式:
– 由位於天花板的擴散口(diffuser)
供應過濾空氣
– 通氣置換次數(air change)通常
在每小時 20 次以上
• 單向氣流式(unidirectional
flow)或層流式(laminar
flow):
– 空氣使用量較大
– 減少污染物散佈的機會
 
 

尚磊
參考資料:http://web.cjcu.edu.tw/~ykchen/Semi-conductor/Cleanroom%20Technique.pdf